长春国科精密光学技术有限公司上海分公司

公司简介

1企业简介

长春国科精密光学技术有限公司是在科技部、国家科技重大专项、中科院及地方政府的支持下，由长春光机所、上海光机所等四家单位于2014年8月联合成立，注册资本9.26亿元 。公司总部位于吉林省长春市，在上海设有高端光刻机照明系统研发分公司，长春总部牵头并负责投影物镜系统研发制造，上海分公司负责照明系统研发制造。

上海分公司以中国科学院上海光学精密机械研究所关键技术（高端光刻机部件技术、信息光电子技术、精密光电测控技术、复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等）为基础，致力于高端光刻机照明系统、非常规光学元器件、高端光电检测仪器与设备等研发与制造。

2 发展历程
长春国科诞生于国家使命，经历了转制与蜕变，成为基础研究与工程技术并重，集研发、生产、市场开发于一体的现代化高科技企业。
2007年09月，02专项光刻机曝光光学系统启动立项论证
 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所-负责投影物镜研发
 中国科学院上海光学精密机械研究所-负责照明系统研发
2009年07月，高NA浸没曝光照明系统关键技术研究课题启动
2014年08月，长春国科精密光学技术有限公司和上海事业部成立
2016年01月，02专项浸没式照明系统研制与小批量生产能力建设任务启动
2017年04月，90nm光刻机照明系统通过出所验收并交付光刻机整机单位进行集成测试
2017年10月，90nm光刻机照明系统在整机环境下完成性能与工艺测试，获得85nm极限光刻分辨率
 2018年01月，上海事业部转制成立长春国科精密光学技术有限公司上海分公司。

3 技术成果
在高端光刻机照明系统方面，团队先后承担02专项任务共5项，承担光刻机整机单位委托的KrF光刻机照明系统产品研发任务1项，研制成功国内首套90nm光刻机照明系统。

2017年04月，与光刻机整机单位联合完成90nm光刻机照明系统验收测试（FAT）；
2017年10月，照明系统与投影物镜一起在90nm光刻机上通过02专项组织的验收测试（SAT)，达到项目任务合同书规定的考核指标；
2018年3月高NA浸没曝光照明系统关键技术研究课题通过02专项正式验收。


4 团队建设
   通过承担国家科技重大专项02专项核心光学任务，公司建立了一支以百余名硕士、博士研究为主体的研发团队。在高端光刻机照明系统方面，获得国内外授权发明专利100余项，在复杂非成像光学系统整体设计与仿真、深紫外激光光束整形与控制、照明光场均匀化与校正、深紫外激光脉冲能量探测等领域的技术水平处于国内领先地位。团队长期从事光机电算一体化技术、仪器设备研发与产品化，尤其在深紫外光学技术方面，拥有丰富的技术经验。
目前公司整体人员规模200余人，上海分公司团队成员70余名，其中硕士、博士学历占比52%，形成了一支以80、90后为主力军的年轻队伍。
我们始终秉承坚定目标、不辱使命，立足脚下、开创未来的经营宗旨和理念；坚持发现人才，尊重人才，以人为本，互相成就的用人理念；打造鼓励创新、不断突破、追求卓越的文化氛围，培养了一批具有责任感、创新精神的优秀人才，致力于为高端光刻机照明系统国产化奠定技术与人才基础。
  
5 平台建设

研发场地：拥有1210m2研发实验室，包括950m2超净室、260m2普通实验室；
研发设备：拥有数十台（套）精密检测设备，包括照明系统集成测试平台（2套）、ArF激光器、中心偏检测仪、激光干涉仪、光学镜面定位仪、非球面检测仪、光学定心车床等。
如果您希望与我们一起探索光刻世界的奥秘，如果您与我们一样立志为国家科技事业贡献一份力量，如果您相信自己具有创造奇迹的能力，欢迎您加入我们！您的梦想我们帮您实现，公司的愿景，让我们一起努力实现！公司地址：嘉定区清水路150号 (邮编：201800)公司官网：http://www.cnepo.com.cn

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更新时间：2021年1月15日 17:28